激光直接成像系統CDI-1XS-FL

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基板 最大基板尺寸 750x850mm
圖形成像尺寸 N/A
基板厚度 0.025-3.0mm
解析度 最小解析線寬&線距 15 μm(顯影后)
量產解析線寬&線距25 25 μm(顯影后)
線寬精度 ±10%
景深 ±150μm
層間對位精度 -
外層對位精度 -
重復精度(3σ) -
制成 成像材料 傳統高感干膜或DI專用干膜
光源頻譜 405nm(395 至 415nm)
適用工序 內層、外層
推薦應用r 軟板/硬板研發打樣
參考產能 參考工藝條件 圖像尺寸&能量 250mm×250mm &20mj/[email protected]/s
曝光時間 ( 含對位 ) 40s/side
過板量
(片/小時
單機 N/A
雙機連線 N/A
用戶界面 資料輸入 Gerber 274X, Gerber 274D; ODB++ (選配)
裝機需求 電源供應 AC220V-50HZ-4KW
冰水供應 水壓 1~2 bars
流量 40L/min @ 10℃
設備重量 ≈3200kgs
外形尺寸(不含塔燈) 2980x1800x1605mm
環境溫度/濕度 22℃±2℃,40%-60%(不結露)